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關(guān)鍵詞：真空燒結(jié)爐陶瓷燒結(jié)爐高溫真空燒結(jié)爐碳化硅陶瓷燒結(jié)爐
碳化硅燒結(jié)爐（臥式）
碳化硅燒結(jié)爐（臥式）
產(chǎn)品描述：
主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)、氣氛燒結(jié)。
應(yīng)用范圍：
碳化硅陶瓷平臺(tái)、導(dǎo)軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤(pán)、卡盤(pán)、機(jī)械臂、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)、流化床反應(yīng)容器等

碳化硅燒結(jié)爐（臥式）技術(shù)特征

可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

采用頂立科技專(zhuān)屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間使用；

采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差?。?/span>

全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；

可選配脫脂系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；

適于工藝氣氛：N2/Ar。

碳化硅燒結(jié)爐（臥式）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高溫度（℃） 1500-24001500-24001500-24001500-2400
溫度均勻性（℃） ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度（Pa） 1-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h） 0.67 0.67 0.67 0.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

碳化硅燒結(jié)爐（臥式）配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén)；立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：等靜壓石墨/CFC/陶瓷

熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)

紅外儀：?jiǎn)伪壬?雙比色

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